ESDテストシステム Model 58154 Series

  • CE Mark
ESDテストシステム
特長
  • 2モデルのESDパルス生成:ヒューマンボディモデル(HBM)と機械(MM)モデル
  • 半導体自動検査プログラム:パルス遅延、サイクルおよび極性設定
  • 高精度:マシンモデル精度はステップごとに最低5V、ヒューマンボディモデル精度はステップごとに20V
  • 多様なインタフェース:キーパッドまたはウェーハープローバでコントロール可能
  • 58154:MM 5V/ステップ、HBM 20V/ステップ
    58154-B:MM 10V/ステップ or 20V/ステップ、HBM 30V/ステップ
    58154-C:MM 10V/ステップ、HBM 30V/ステップ
  • ヒューマンボディモデル:最大8000V(58154-C)

58154は、半導体デバイス、電子デバイスのテスト中に静電気放電パルスをシミュレートするPXI/PCI制御モジュールです。ESD STM5.1-2001ヒューマンボディモデル(HBM)およびESD STM5.2-1999マシンモデル(MM)に準拠し、JEDEC、JEITA ED-4701といった国内規格にも応用することができます。ソフトウェアを介してシステムをプログラム制御可能で、検査に必要な様々な機能を提供します。例えばウェーハのサンプリングテスト、ESDモデル、ESDパルス極性、シーケンス内のESDパルス間隔、自動テスト機能など、プログラマブルで柔軟な機能を提供します。

58154は、制御モジュールとパルス出力外部ボックスで構成されます。高電圧電源装置(PSU)とパルス生成回路はESD STMに準拠したパルス波形を生成します。

58154は、半導体デバイス、電子デバイスに対して柔軟で最適な静電気放電検査ソリューションを提供します。ESDパルスは、一般的に電気パラメータを測定する前に被試験デバイスに印加されます。その他のテスタおよびプローバとともに使用することで、トータルなLED・レーザーダイオードテストソリューションとして、生産ラインに最適なシステムです。


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