太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機 Model 7201

太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機
太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機
產品特色
  • 可整合到任何矽晶圓分選機上
  • 可調整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、類單晶等各種矽晶圓
  • 多樣化介面選擇可與不同設備或者MES系統連線
  • 可進行鑽石線切割矽晶圓的檢測
  • 自我監測以及校正系統

Chroma 7201可用來檢測矽晶圓長度、寬度、對角線、邊緣 夾角、導角尺寸以及導角角度等,同時也可以檢測表面瑕疵。設計完善的軟體以及操作介面可供使用者設定不同的檢測參數來達到檢測結果,同時也提供瑕疵顯示以及儲存功能來留待日後進行MES/CIM的分析以及整合。

  • 可整合到任何矽晶圓分選機上
  • 可調整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、類單晶等各種矽晶圓
  • 多樣化介面選擇可與不同設備或者MES系統連線
  • 可進行鑽石線切割矽晶圓的檢測
  • 自我監測以及校正系統


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