太陽能矽晶圓品質檢測機 Model 7202

太陽能矽晶圓品質檢測機
太陽能矽晶圓品質檢測機
產品特色
  • 可整合到任何矽晶圓分選機上
  • 可調整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、類單晶等各種矽晶圓
  • 多樣化介面選擇可與不同設備或者MES系統連線
  • 檢測晶格尺寸的特殊光源設計

為了提供最高重複性的晶格尺寸檢測結果,Chroma在7202上頭使用了獨特的光學設計來強化晶格特徵。而當晶格尺寸可以被量化之後,分類好的矽晶圓就可以套用於不同的生產工藝,拿來在不同的電池片生產線進行生產,藉以提高電池片生產時候的平均轉換效率。

7202同時也可以檢測孔洞瑕疵。而孔洞瑕疵正是造成太陽能模組失效的μ-crack或者嚴重local shunting的原因。


▲ Analysis of pinhole defect

  • 可整合到任何矽晶圓分選機上
  • 可調整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、類單晶等各種矽晶圓
  • 多樣化介面選擇可與不同設備或者MES系統連線
  • 檢測晶格尺寸的特殊光源設計


▲ Examples of the grain-size inspection result on 7202


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