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Automated optical inspection uses machine vision inspection technology to perform high-speed and high-precision optical image verification and replace time-consuming and unstable manual visual inspection. Chroma offers AOI solutions that are equipped with high-resolution optical imaging, multi-functional light sources, and in-house developed white light interferometry. Combining innovative algorithms and AI analysis, the AOI solutions can perform accurate and reliable defect detection, color analysis, and sub-nano 3D profile measurement when integrated into a high-speed automated production line. Chroma's AOI solutions are the best choice to ensure your production quality.

自动光学检测系统

制程中芯片外观检查系统 Model7945
  • CE Mark
制程中芯片外观检查系统
Model 7945
  • 双面检测(切割后芯片)
  • 异色缺陷检测
  • 支持多计算机检测以缩短处理时间
  • 可共享自动进料机设计
2D/3D晶圆量测系统 Model7980
2D/3D晶圆量测系统
Model 7980
本系统采用独特的BLiS量测技术,达到次奈米、非破坏性的表面光学形貌量测,适合半导体制程使用,可支持12吋晶圆的全自动量测。
晶圆检测系统 Model7940
晶圆检测系统
Model 7940
  • 可同时检测正反两面晶圆
  • 最大可检测6吋扩膜晶圆(检测区域达8吋范围 )
  • 可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目
  • 上片后晶圆自动对位机制
三维光学(3D)轮廓仪 Model7503
三维光学(3D)轮廓仪
Model 7503
  • 使用白光干涉量测技术
  • 模块化设计
  • 多种表面参数量测:断差高度、夹角、薄膜厚度及平整度
多功能光学检测系统 Model7505-01
多功能光学检测系统
Model 7505-01
  • 提供面板级先进封装制程量测:TSV/VIA, RDL, Probe Mark, Surface Topography...等
  • 一机具备1D、2D、3D量测能力
  • 使用白光干涉量测技术,可进行3D三维形貌量测,如断差高度、夹角、面积、体积、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
  • 使用高分辨率线型扫瞄相机,可进行高速2D瑕疵量测,可检出气泡、刮伤、异物等瑕疵
MiniLED背光模组自动光学量测系统 Model7661-K003
Mini LED背光模组自动光学量测系统
Model 7661-K003
  • 结合71803-2二维色彩分析仪针对Mini LED亮度、色彩、瑕疵分析
  • 量侧项目:色度、亮度、光强度、均匀度、电压、电流、LED死灯
  • 可搭配Chroma LED电源测试器及光学模块整合为系统方案