Automated optical inspection uses machine vision inspection technology to perform high-speed and high-precision optical image verification and replace time-consuming and unstable manual visual inspection. Chroma offers AOI solutions that are equipped with high-resolution optical imaging, multi-functional light sources, and in-house developed white light interferometry. Combining innovative algorithms and AI analysis, the AOI solutions can perform accurate and reliable defect detection, color analysis, and sub-nano 3D profile measurement when integrated into a high-speed automated production line. Chroma's AOI solutions are the best choice to ensure your production quality.

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3D光学プロファイラ

2D/3DWaferMetrologySystem Model7980
  • Taiwan Excellence 2026 - 金質獎
2D/3D Wafer Metrology System
Model 7980
Chroma 7980 2D/3D Wafer Metrology System is powered by patented BLiSTM technology to provide nanoscale nondestructive and rapid surface profile measurement and analysis. The system is suitable for up to 12" wafer with EFEM and SECS/GEM.
ウェーハチップ両面検査システム Model7940
ウェーハチップ両面検査システム
Model 7940
  • 両面同時カラー検査
  • 最大6インチウェーハハンドリング可能(検査エリア8インチ)
  • 自動ウェーハアライメント機能
  • ウェーハ形状/エッジ認識機能
  • 欠陥検出率99%以上
3D光学プロファイラー Model7503
3D光学プロファイラー
Model 7503
  • 白色光干渉測定による高精度非破壊検査
  • モジュール設計による拡張性の高いシステム
  • 断面差、夾角、面積、寸法、粗さ、うねり、膜厚、平坦度など様々な表面測定
  • 様々な3Dファイル形式の保存と読み取りが可能。
ミニLEDバックライトモジュール自動光学テストシステム Model7661-K003
ミニLEDバックライトモジュール自動光学テストシステム
Model 7661-K003
  • 2Dカラーアナライザー71803-2は、ミニLEDの明るさ、色、および欠陥の分析ができます 
  • 試験項目:色度、明るさ、光度、均一性、電圧、電流、デッドライト 
  • オプションのChroma LEDパワーテスターと光学モジュールにより、テストシステムを統合できます