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ウェーハチップ両面検査システム
ウェーハチップ両面検査システム
Model 7940
  • 両面同時カラー検査
  • 最大6インチウェーハハンドリング可能(検査エリア8インチ)
  • 自動ウェーハアライメント機能
  • ウェーハ形状/エッジ認識機能
  • 欠陥検出率99%以上
3D光学プロファイラー
3D光学プロファイラー
Model 7503
  • 白色光干渉測定による高精度非破壊検査
  • モジュール設計による拡張性の高いシステム
  • 断面差、夾角、面積、寸法、粗さ、うねり、膜厚、平坦度など様々な表面測定
  • 様々な3Dファイル形式の保存と読み取りが可能。
多機能外観測定システム
多機能外観測定システム
Model 7505-05
  • 携帯電話、スマートフォン、バッテリー、カバーガラスの外観品質検査に対応
  • 2D測定用の高解像度カメラを実装
  • 3D測定用のラインセンサーを実装
  • 2D&3D測定を一台のマシンで測定可能
  • トンネル型設計による高速測定
  • 各テスト項目の外観品質を即時ヒストグラムで提供
  • SPC分析機能
  • CNCナイフパターン除去技術