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半導體先進封裝光學量測系統
半導體先進封裝光學量測系統
Model 7505 Series
本系統整合白光干涉量測技術,可進行非破壞性的光學尺寸量測,適用12吋晶圓。
晶圓檢測系統
晶圓檢測系統
Model 7940
  • 可同時檢測正反兩面晶圓
  • 最大可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區域達8吋範圍)
  • 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
  • 上片後晶圓自動對位機制
三維光學(3D)輪廓儀
三維光學(3D)輪廓儀
Model 7503
  • 使用白光干涉量測技術
  • 模組化設計
  • 多種表面參數量測:斷差高度、夾角、薄膜厚度及平整度
多功能光學量測系統
多功能光學量測系統
Model 7505-05
  • 適用於金屬外殼、電池、CG尺寸品質檢測
  • 整合2D及3D量測功能於同一系統
  • 全新專利流道式量測技術量測速度快 < 2.5 秒/片
  • 提供即時統計直方圖,可即時顯示每個測項的品質狀況
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
Model 7505-K006
適用於市面上各種主流尺寸之圓柱型電池外觀瑕疵檢測
薄膜厚度自動光學量測系統
薄膜厚度自動光學量測系統
Model 7505-K007
適用於Roll To Roll印刷製程、Thin film等薄膜印刷製程厚度檢測
線上型印刷品質自動光學檢測系統
線上型印刷品質自動光學檢測系統
Model 7505-K009
適用於各種電池前段及其他塗佈相關製程印刷品質檢測
多功能光學檢測系統
多功能光學檢測系統
Model 7505-01
  • 一機具備1D、2D、3D量測能力
  • 具備膜厚量測功能(1D),使用穿透反射式量測,可進行非破壞式膜厚量測
  • 使用高解析度線型掃瞄相機,可進行2D瑕疵量測,可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵
  • 使用白光干涉量測技術,可進行3D三維形貌量測
線上型自動化光學檢測系統
線上型自動化光學檢測系統
Model 7505-02
  • 適用於ITO (Indium Tin Oxide)薄膜、RFID、FPC等連續式(Roll to Roll)制程線上即時自動光學檢測
  • 配備高解析度線型掃描相機,可檢出氣泡及刮傷等髒污及瑕疵
  • 使用多支相機同時進行取像,檢測速度快
  • 配備位置控制和反饋系統,可得到精確及清晰的掃描圖像
Mini/MicroLED背光模組量測系統
Mini/Micro LED背光模組量測系統
Model 7661-K003
  • 結合71803-2色彩分析儀針對Mini/Micro LED 亮度, 色彩, 瑕疵分析
  • 量側項目:色度、亮度、光強度、均勻度、Mura、電壓 、電流、LED死燈
  • 可搭配Chroma LED電源測試器及光學模組整合為系統方案