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晶粒段測試

短脈衝光電元件晶圓點測平台 Model58636Series
短脈衝光電元件晶圓點測平台
Model 58636 Series
  • 奈秒等級脈衝驅動與量測
  • 支援VoS (VCSEL on Silicon),VoD (VCSEL on Driver) 等異質整合待測物提供數位控制。
  • 二合一光學頭專利設計,一次下針獲取電性(LIV)、光譜、與近場光學測試
  • 支援Multi-site/Multi-die測試,增加測試效率
光電元件晶圓點測系統 Model58635Series
光電元件晶圓點測系統
Model 58635 Series
  • 依據ISO/IEC標準
  • 最大可測試6吋晶圓
  • 寬廣的測試範圍與高精準溫度控制