Automated optical inspection uses machine vision inspection technology to perform high-speed and high-precision optical image verification and replace time-consuming and unstable manual visual inspection. Chroma offers AOI solutions that are equipped with high-resolution optical imaging, multi-functional light sources, and in-house developed white light interferometry. Combining innovative algorithms and AI analysis, the AOI solutions can perform accurate and reliable defect detection, color analysis, and sub-nano 3D profile measurement when integrated into a high-speed automated production line. Chroma's AOI solutions are the best choice to ensure your production quality.

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自動光學檢測系統

製程中晶圓外觀檢查系統 Model7945
  • CE Mark
製程中晶圓外觀檢查系統
Model 7945
  • 雙面檢測(切割後晶圓)
  • 異色缺陷檢測
  • 支援多電腦檢測以縮短處理時間
  • 可共用自動進料機設計
2D/3D晶圓量測系統 Model7980
2D/3D晶圓量測系統
Model 7980
本系統採用獨特的BLiS量測技術,達到次奈米、非破壞性的表面光學形貌量測,適合半導體製程使用,可支援12吋晶圓的全自動量測。
晶圓檢測系統 Model7940
晶圓檢測系統
Model 7940
  • 可同時檢測正反兩面晶圓
  • 最大可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區域達8吋範圍)
  • 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
  • 上片後晶圓自動對位機制
三維光學(3D)輪廓儀 Model7503
三維光學(3D)輪廓儀
Model 7503
  • 使用白光干涉量測技術
  • 模組化設計
  • 多種表面參數量測:斷差高度、夾角、薄膜厚度及平整度
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統 Model7505-K006
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
Model 7505-K006
適用於市面上各種主流尺寸之圓柱型電池外觀瑕疵檢測
多功能光學檢測系統 Model7505-01
多功能光學檢測系統
Model 7505-01
  • 提供面板級先進封裝製程量測:TSV/VIA, RDL, Probe Mark, Surface Topography...等
  • 一機具備1D、2D、3D量測能力
  • 使用白光干涉量測技術,可進行3D三維形貌量測,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
  • 使用高解析度線型掃瞄相機,可進行高速2D瑕疵量測,可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵
MiniLED背光模組自動光學量測系統 Model7661-K003
Mini LED背光模組自動光學量測系統
Model 7661-K003
  • 結合71803-2二維色彩分析儀針對Mini LED亮度、色彩、瑕疵分析
  • 量側項目:色度、亮度、光強度、均勻度、電壓 、電流、LED死燈
  • 可搭配Chroma LED電源測試器及光學模組整合為系統方案

太陽能電池自動光學檢測系統

太陽能電池片與矽晶圓自動化檢測系統 Model7200Series
太陽能電池片與矽晶圓自動化檢測系統
Model 7200 Series
Chroma 7200系列是為檢測所有產線上生產的矽晶圓以及電池片的瑕疵所設計的。
太陽能電池表面品質檢查暨分色系統 Model7210
太陽能電池表面品質檢查暨分色系統
Model 7210
  • 安裝於前端網版印刷製程或終端分選設備
  • 太陽能電池正面或背面印刷瑕疵皆可檢測
  • 可檢測PERC和Bifacial製程所產生的瑕疵
網印端自動檢測系統 Model7210-P
網印端自動檢測系統
Model 7210-P
  • 網印端自動檢測設備
  • 安裝於前端印刷轉盤設備上
  • 可檢測PERC和Bifacial製程所產生之瑕疵
太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機 Model7201
太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機
Model 7201
  • 太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測
  • RGB LED光源頻閃式設計
  • 高速檢測
太陽能矽晶圓品質檢測機 Model7202
太陽能矽晶圓品質檢測機
Model 7202
  • 矽晶圓品質檢測
  • 精準計算類單晶晶格比例
  • 孔洞與缺角檢測
太陽能正面印刷及表面瑕疵檢測系統(高速型) Model7212-HS
太陽能正面印刷及表面瑕疵檢測系統 (高速型)
Model 7212-HS
  • 可與其他廠商的自動化網印線以及終端分選線體進行搭配整合
  • 自由調整的人性化操作軟體
  • 提供精細達14μm/pixel解析度的檢測能力
  • 優異的髒污檢測能力
太陽能矽晶圓線鋸痕檢測機 Model7231
太陽能矽晶圓線鋸痕檢測機
Model 7231
  • 太陽能矽晶圓線鋸痕檢測
  • 符合EN-50513 2009的檢測手法
  • 高度可靠的檢測結果
太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測機 Model7213-AD
太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測機
Model 7213-AD
  • 太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測
  • V型缺角以及剝落類型的瑕疵檢測
  • 可安裝於前端網版印刷製程或者後端出貨分類製程
太陽能電池片抗反射層鍍膜檢測機 Model7214-D
太陽能電池片抗反射層鍍膜檢測機
Model 7214-D
  • 抗反射層鍍膜檢測
  • 瑕疵與鍍膜不均勻的檢測
  • 可安裝於前端PECVD製程之後或者安裝於網版印刷製程之前