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自動光學檢測系統

半導體先進封裝光學量測系統
半導體先進封裝光學量測系統
Model 7505 Series
本系統整合白光干涉量測技術,可進行非破壞性的光學尺寸量測,適用12吋晶圓。
晶圓檢測系統
晶圓檢測系統
Model 7940
  • 可同時檢測正反兩面晶圓
  • 最大可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區域達8吋範圍)
  • 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
  • 上片後晶圓自動對位機制
三維光學(3D)輪廓儀
三維光學(3D)輪廓儀
Model 7503
  • 使用白光干涉量測技術
  • 模組化設計
  • 多種表面參數量測:斷差高度、夾角、薄膜厚度及平整度
多功能光學量測系統
多功能光學量測系統
Model 7505-05
  • 適用於金屬外殼、電池、CG尺寸品質檢測
  • 整合2D及3D量測功能於同一系統
  • 全新專利流道式量測技術量測速度快 < 2.5 秒/片
  • 提供即時統計直方圖,可即時顯示每個測項的品質狀況
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
Model 7505-K006
適用於市面上各種主流尺寸之圓柱型電池外觀瑕疵檢測
薄膜厚度自動光學量測系統
薄膜厚度自動光學量測系統
Model 7505-K007
適用於Roll To Roll印刷製程、Thin film等薄膜印刷製程厚度檢測
線上型印刷品質自動光學檢測系統
線上型印刷品質自動光學檢測系統
Model 7505-K009
適用於各種電池前段及其他塗佈相關製程印刷品質檢測
多功能光學檢測系統
多功能光學檢測系統
Model 7505-01
  • 一機具備1D、2D、3D量測能力
  • 具備膜厚量測功能(1D),使用穿透反射式量測,可進行非破壞式膜厚量測
  • 使用高解析度線型掃瞄相機,可進行2D瑕疵量測,可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵
  • 使用白光干涉量測技術,可進行3D三維形貌量測
線上型自動化光學檢測系統
線上型自動化光學檢測系統
Model 7505-02
  • 適用於ITO (Indium Tin Oxide)薄膜、RFID、FPC等連續式(Roll to Roll)制程線上即時自動光學檢測
  • 配備高解析度線型掃描相機,可檢出氣泡及刮傷等髒污及瑕疵
  • 使用多支相機同時進行取像,檢測速度快
  • 配備位置控制和反饋系統,可得到精確及清晰的掃描圖像
Mini/MicroLED背光模組量測系統
Mini/Micro LED背光模組量測系統
Model 7661-K003
  • 結合71803-2色彩分析儀針對Mini/Micro LED 亮度, 色彩, 瑕疵分析
  • 量側項目:色度、亮度、光強度、均勻度、Mura、電壓 、電流、LED死燈
  • 可搭配Chroma LED電源測試器及光學模組整合為系統方案

太陽能電池自動光學檢測系統

太陽能電池片與矽晶圓自動化檢測系統
太陽能電池片與矽晶圓自動化檢測系統
Model 7200 Series
Chroma 7200系列是為檢測所有產線上生產的矽晶圓以及電池片的瑕疵所設計的。
太陽能電池表面品質檢查暨分色系統
太陽能電池表面品質檢查暨分色系統
Model 7210
  • 安裝於前端網版印刷製程或終端分選設備
  • 太陽能電池正面或背面印刷瑕疵皆可檢測
  • 可檢測PERC和Bifacial製程所產生的瑕疵
網印端自動檢測系統
網印端自動檢測系統
Model 7210-P
  • 網印端自動檢測設備
  • 安裝於前端印刷轉盤設備上
  • 可檢測PERC和Bifacial製程所產生之瑕疵
太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機
太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測機
Model 7201
  • 太陽能矽晶圓外觀暨表面髒汙檢測
  • RGB LED光源頻閃式設計
  • 高速檢測
太陽能矽晶圓品質檢測機
太陽能矽晶圓品質檢測機
Model 7202
  • 矽晶圓品質檢測
  • 精準計算類單晶晶格比例
  • 孔洞與缺角檢測
太陽能正面印刷及表面瑕疵檢測系統(高速型)
太陽能正面印刷及表面瑕疵檢測系統 (高速型)
Model 7212-HS
  • 可與其他廠商的自動化網印線以及終端分選線體進行搭配整合
  • 自由調整的人性化操作軟體
  • 提供精細達14μm/pixel解析度的檢測能力
  • 優異的髒污檢測能力
太陽能矽晶圓線鋸痕檢測機
太陽能矽晶圓線鋸痕檢測機
Model 7231
  • 太陽能矽晶圓線鋸痕檢測
  • 符合EN-50513 2009的檢測手法
  • 高度可靠的檢測結果
太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測機
太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測機
Model 7213-AD
  • 太陽能電池片背面印刷暨表面髒汙檢測
  • V型缺角以及剝落類型的瑕疵檢測
  • 可安裝於前端網版印刷製程或者後端出貨分類製程
太陽能電池片抗反射層鍍膜檢測機
太陽能電池片抗反射層鍍膜檢測機
Model 7214-D
  • 抗反射層鍍膜檢測
  • 瑕疵與鍍膜不均勻的檢測
  • 可安裝於前端PECVD製程之後或者安裝於網版印刷製程之前