LED チップスポット測定システム Model 58212-C

LEDチップスポット測定システム
LEDチップスポット測定システム
特長
  • 高速と高精度のテスト
  • 水平構造、垂直構造、フリップ型のサポート
  • 8 inchウェハーまでのサポート
  • 様々な電気特性テスト範囲のサポート(LD又はLED)
  • 正確且つ快速のロケーション スキャン機能
  • マルチサイト測定機能のサポート
  • ロード/アンロードのサポート

Chroma 58212-Cは正確な温度制御、Multi-Site測定、全自動化のエピタキシャルウェファー/チップスポット測定設備、高速で正確な光電性能測定を提供する装置です。LDとLEDなどの測定に広く使用されています。*1

システムの設計は水平構造(Lateral)、垂直構造(Vertical)、フリップ型(Flip )など、様々なタイプの光電製品を測定するため、柔軟な設計が採用されています。測定前のスキャン機能が完全なウェハスキャンマップを提供し、測定の精度が保証できます。Edge sensorに特許を持ちプローブが測定物の擦り傷を防ぎ、ダイとの接触をより高度に確保できます。

58212-Cは多点測定(multi-site)の設計となり、構成をカスタマイズする事により、一回のプロービングで複数箇所の測定ができ、安定な測定を実現、また、測定時間の短縮、測定効率が向上します。

Chroma独自の光学設計により、光学データの光パワー、中心波長、ピーク波長、ハーフピーク幅、色温度などを、正確、安定且つ高速に取得できます。光学データの測定と同時に電気データも取れます。例えば、順向電流、順向電圧、漏れ電流、逆降伏電圧、斜率効率、光学変換効率などの測定項目が一回のプロービングで完成できます。

58212-CのソフトウェアのI/F及び優れたロジックアルゴリズムにより、生産効率が大幅に向上できます。また、完備な測定レポートと歩留まり統計データが提供され、ユーザーが生産状況を簡単に把握できます。

Note *1: テスト条件は、300um間隔、5つの電気テスト項目、1つの光学テスト項目の条件でサンプルを取ります。LEDの特性の違いにより、測定結果が異なる場合があります。

 テスト項目

電源特性測定

  • 閾値電流 Threshold Current (lth)
  • 順方向電圧 Forward Voltage (Vf)
  • 漏れ電流 Reverse Leakage Current (Ir)
  • 逆降伏電圧 Reverse Breakdown Voltage (Vrb)

光の特性測定

  • 光パワー Optical Power
  • 中心波長 Centre Wavelength (Wc)
  • ピーク波長 Peak Wavelength (Wp)
  • 半値全幅 Full Width at Half Maximum  (FWHM)

 Hardwares

  • 自動化 LED Wafer/Chipスポット測定設備
  • 電気テストモジュール
  • 光学テストモジュール
  • オプションESDテストモジュール

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